特許
J-GLOBAL ID:200903040662167549
セラミックスグリーンシートおよびそれを用いたセラミックス基板の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
綿貫 達雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-286052
公開番号(公開出願番号):特開平8-238613
出願日: 1995年11月02日
公開日(公表日): 1996年09月17日
要約:
【要約】【目的】 平滑性が高くかつ薄肉なセラミックスグリ-ンシ-トおよびそれを用いたセラミックス基板の製造方法を提供するものである。【構成】 第1の発明は、セラミックスグリ-ンシ-トを構成するセラミックス粒子が所定の値の球相当径と平均凝集度からなる。第2の発明は、前記セラミックス粉末を用いかつセラミックススラリ-中に含まれる凝集物等をデプスタイプのフィルタ-または遠心分離処理により除去するものである。
請求項(抜粋):
セラミックス成分として、1次粒子の球相当径が 0.01 〜 0.5μm、平均凝集度が最大10であるセラミックス粒子からなり、粒子径20μm以上の2次粒子が体積割合で多くとも1%であり、且つ、表面粗さRaが大きくとも0.2μmであることを特徴とするセラミックスグリーンシート。
IPC (4件):
B28B 11/02
, B28B 1/30 101
, C04B 35/622
, H05K 1/03 610
FI (4件):
B28B 11/02
, B28B 1/30 101
, H05K 1/03 610 D
, C04B 35/00 G
引用特許: