特許
J-GLOBAL ID：200903040664706790
排気装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
眞鍋 潔
, 柏谷 昭司
, 渡邊 弘一
, 伊藤 壽郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172946
公開番号（公開出願番号）：特開2004-019493
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】排気装置に関し、ターボ分子ポンプの有効排気速度を低下させることなく、また、グリース等の塗布材を用いることなく、剥離或いは反跳パーティクルのプロセス室への逆流を抑止して製品の製造歩留りを向上させようとする。【解決手段】ロータ本体から放射状に延び出た複数のブレードをもつ回転翼が複数段に亙って配設され且つ該複数段の回転翼の段間に放射状に延び出た複数のブレードをもつ静止翼が複数段に亙って各別に介在させてなるターボ分子ポンプに於いて、少なくとも最も吸気側に位置する回転翼ブレード11に於ける排気方向Z1 と対向する吸気側平面部12が排気方向Z1 と吸気側平面部12の内向き法線Z2 とのなす角を傾き角θとして0〔度〕以上に傾けてある。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ロータ本体から放射状に延び出た複数のブレードをもつ回転翼が複数段に亙って配設され且つ該複数段の回転翼の段間に放射状に延び出た複数のブレードをもつ静止翼が複数段に亙って各別に介在させてなるターボ分子ポンプに於いて、
前記回転翼のうち、少なくとも最も吸気側に位置する回転翼ブレードに於ける排気方向と対向する吸気側平面部が該排気方向と該吸気側平面部の内向き法線とのなす角である傾き角として0〔度〕以上となるように傾けられてなるターボ分子ポンプ
を備えてなることを特徴とする排気装置。
IPC (1件)：
FI (3件)：
F04D19/04 D
, F04D19/04 E
, F04D19/04 G
3H031DA02
, 3H031EA09
, 3H031FA02
, 3H031FA37
