特許

J-GLOBAL ID：200903040670139767

位置計測装置および露光装置

発明者： 山崎 俊洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340499
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 計測軸の正方向を考慮する必要なく装置を設計することができるようにする。【解決手段】 対象物の所定の計測軸方向ついての位置を計測する位置計測装置において、前記計測軸のいずれの方向を正として計測を行なうかを切り替える切替え手段111を設ける。レーザ干渉計を用いた位置計測装置の場合は、レーザ干渉計からの干渉光101の位相に基づいて位置の計測を行なうためのカウントアップを行なうカウントアップ用カウンタ109およびカウントダウンを行なうカウントダウン用カウンタ110を備え、切替え手段は、前記切替えを、カウントアップ用カウンタまたはカウントダウン用カウンタのいずれを使用して行なうかを切り替えることにより行なう。

請求項（抜粋）：

対象物の所定の計測軸方向についての位置を計測する位置計測装置であって、前記計測軸のいずれの方向を正として計測を行なうかを切り替える切替え手段を具備することを特徴とする位置計測装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

H01L 21/30 503 A ,  G01B 11/00 G

Fターム (14件)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065BB13 ,  2F065CC17 ,  2F065FF55 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ51 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC16 ,  5F046DB05