特許

J-GLOBAL ID：200903040672235704

焦点検出方法

発明者： 安部 勇幸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177741
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346533
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【構成】 合焦点からの距離に応じてパルスモータ36により顕微鏡を被測定物に対して接離操作するに際し、合焦点近傍部までは顕微鏡を被測定物に対して高速で送り、合焦点近傍部では顕微鏡を被測定物に対して低速で送るようにサーボを切替える。【効果】 フォーカシング速度が向上するとともに、フォーカシング時間が大幅に短縮する。

請求項（抜粋）：

合焦点からの距離に応じてパルスモータにより顕微鏡を被測定物に対して接離操作するに際し、合焦点近傍部までは顕微鏡を被測定物に対して高速で送り、合焦点近傍部では顕微鏡を被測定物に対して低速で送るようにサーボを切替えることを特徴とする焦点検出方法。

IPC (4件)：

G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  G02B 21/00 ,  H04N 5/232

FI (2件)：

G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 D