特許
J-GLOBAL ID：200903040675609419
集積回路の試験装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-030718
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242152
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 測定対象の集積回路に近接して非線形光学素子を配置し、その集積回路の動作電界による非線形光学素子の光学特性の変化をプローブ光により測定してその集積回路の動作を試験する装置において、測定を容易にする。【構成】 光学特性を測定するためのプローブ光の一部を利用して回路パターンを測定する。
請求項（抜粋）：
測定対象の集積回路に近接して配置され、その集積回路の動作時の電界によって光学特性が変化する光学素子と、この光学素子にプローブ光を照射する第一の光学手段と、この光学素子の光学特性の変化によって生じるプローブ光の変化を検出する第二の光学手段と、この第二の光学手段により検出されたプローブ光の変化から前記集積回路の電気的特性を求める第一の処理手段とを備えた集積回路の試験装置において、前記光学素子を透過して集積回路により反射または散乱された光を検出する第三の光学手段と、この第三の光学手段の検出出力から前記集積回路の回路パターンを求める第二の処理手段とを備えたことを特徴とする集積回路の試験装置。
IPC (3件)：
G01R 19/00
, G01R 31/302
, H01L 21/66
