特許
J-GLOBAL ID：200903040678467321
半導体製造装置集中管理方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041136
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243111
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】 複数の半導体製造装置を使用するときの保守点検漏れをなくし製品の品質向上を図る。【構成】 複数の半導体製造装置2を通信回線にて集中管理装置1に接続し、各半導体製造装置2毎の各構成部品の保守予定値を入力装置11から入力して記憶装置12に格納する。また、各半導体製造装置2の使用毎に各半導体製造装置2の各構成部品の使用時間または使用回数を更新手段にて積算し記憶装置14に格納する。そして、比較手段15にて、前記保守予定値と前記使用時間または使用回数の積算値(記憶装置12,14の格納データ)を比較し、比較の結果により積算値が保守予定値に達したときその半導体製造装置2の該当構成部品の保守情報を情報出力装置16から表示部17及び該当半導体製造装置2の表示部に表示させ、その半導体製造装置の保守点検が表示された保守情報に従って行われたとき、記憶装置14の当該半導体製造装置に関する積算値をリセット手段18にてリセットする。
請求項（抜粋）：
複数の半導体製造装置に通信回線にて接続され各半導体製造装置の保守情報を集中管理する方法において、各半導体製造装置の各構成部品毎に半導体製造装置の使用時間または使用回数の積算値が構成部品毎に設定されている保守予定値に達したか否かを判定し、保守予定値に達した構成部品の保守情報を出力することを特徴とする半導体製造装置集中管理方法。
引用特許：
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