特許
J-GLOBAL ID：200903040697440736

微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置

発明者：
井ノ口 大輔

井ノ口 大輔 について

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大平 克己

大平 克己 について

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坂田 陽

坂田 陽 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-063074
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262576
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：
【要約】【課題】容易かつ安価にフォトマスク表面に吸着する微量有機化合物の捕集分析ができ、角形のフォトマスクにおいてもパターン形成部全ての微量有機化合物の捕集分析が効率良くできる微量有機化合物の捕集装置及びそれを用いた分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】天板と底板でシール材とフォトマスクを挟み込むことで形成する捕集エリアと、該フォトマスクの加熱手段と、該捕集エリアにキャリアガスを供給しつつ排出するキャリアガス供給排出手段とを備え、キャリアガスの成分捕集を行う微量有機化合物捕集装置であって、前記シール材はフォトマスク表面のパターン部を囲い、少なくともその側面にキャリアガスの供給口及び排出口を設けたことを特徴とする微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置を提供する。
請求項（抜粋）：
天板と底板でシール材とフォトマスクを挟み込むことで形成する捕集エリアと、該フォトマスクの加熱手段と、該捕集エリアにキャリアガスを供給しつつ排出するキャリアガス供給排出手段とを備え、キャリアガスの成分捕集を行う微量有機化合物捕集装置であって、前記シール材はフォトマスク表面のパターン部を囲い、少なくともその側面にキャリアガスの供給口及び排出口を設けたことを特徴とする微量有機化合物捕集装置。
IPC (6件)：
G01N 1/22 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 30/06 ,  G01N 30/08 ,  G01N 30/88 ,  G01N 30/72
FI (6件)：
G01N 1/22 Y ,  G01N 1/00 101 R ,  G01N 30/06 G ,  G01N 30/08 G ,  G01N 30/88 C ,  G01N 30/72 A
Fターム (14件)：
2G052AA13 ,  2G052AB11 ,  2G052AB27 ,  2G052AC21 ,  2G052AD32 ,  2G052AD42 ,  2G052CA04 ,  2G052CA12 ,  2G052CA14 ,  2G052EB01 ,  2G052EB11 ,  2G052GA27 ,  2G052JA07 ,  2G052JA16
引用特許：
審査官引用 (6件)
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