特許

J-GLOBAL ID：200903040716453313

液面検出器および液面検出方法、ならびに基板処理装置

発明者： 馬原 康爾
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-088293
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264756
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】 液面を任意に連続して精度良く検出することができ、小型である液面検出器を提供すること。【解決手段】 発光部81から光ファイバー84の内壁に向けて光が射出され、光ファイバー84の内壁で順次反射しながら光ファイバー84先端部の反射面85に到達され、この反射面85で反射した後、光ファイバー84の内壁で順次反射しながら戻った反射光が受光部82により検知される。

請求項（抜粋）：

容器に貯留した液体内に延在させた光ファイバーに発光部から光を射出し、光ファイバーの先端部で反射した反射光を受光部により検知して、容器内の液面レベルを検出する液面検出器において、前記発光部から光ファイバーの内壁に向けて光を射出し、光ファイバー内壁で順次反射させながら光ファイバーの先端部に到達させ、この先端部で反射した後、光ファイバー内壁で順次反射しながら戻った反射光を前記受光部により検知することを特徴とする液面検出器。

IPC (2件)：

G01F 23/28 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01F 23/28 J ,  H01L 21/30 564 Z ,  H01L 21/30 569 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-215020
  
• 光学式液面検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-134347   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開平4-215020