特許

J-GLOBAL ID：200903040719104930

反射鏡およびその製造方法

発明者： 村上 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-203921
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068898
出願日： 1994年08月29日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】 X線などの照射光による熱変形を充分小さく抑えることのできる反射鏡を提供する。【構成】 線膨張率が1×10-7/K以下であるインバー製の基板1と、この基板1の表面に形成され表面を光学的に平滑に研磨されたガラス製薄板2とを備える。X線光学系に使用する場合には、薄膜2の表面に所定波長のX線を反射する多層膜4を形成する。

請求項（抜粋）：

金属製基板と、この金属製基板の表面に貼り合わされ表面を光学的に平滑に研磨されたガラス製薄板とを具備することを特徴とする反射鏡。

IPC (3件)：

G21K 1/06 ,  G02B 5/08 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開2044-011403
  
• 特開2044-011403