特許
J-GLOBAL ID：200903040723351526
ポリカルボランシロキサンを用いた結合方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222510
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172712
出願日： 1993年09月07日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 宇宙環境で安定な接着結合を提供する改良された基板の結合方法。【構成】 所定のポリカルボランシロキサンポリマー、二官能価の硬化剤、遷移金属錯体を含む触媒、及び所定の溶媒を含む溶液を形成する工程と、第1及び第2の基板の表面の少なくとも1つにこの溶液を適用する工程と、溶媒を蒸発させ、表面上に接着剤の薄膜を形成する工程と、基板の表面を接触させる工程と、基板の表面を熱を適用することにより結合する工程とを含む。
請求項（抜粋）：
低温加硫カルボランシロキサン接着剤組成物を用いて、第1の基板の表面を第2の基板の表面に結合する方法であって、(a)(1)カルボラン基に対するビニル基の濃度が約3ないし30%である主鎖に結合したビニル基を有するポリカルボランシロキサンポリマー、(2)二官能価のシラン硬化剤、(3)遷移金属錯体を含む触媒、及び(4)選択された溶媒を含有する溶液を形成する工程、(b)前記2つの基板のうち少なくとも1つに前記溶液を適用する工程、(c)前記溶媒を蒸発せしめ、前記基板の少なくとも1つの上に前記接着剤の薄膜を形成する工程、(d)前記2つの基板の前記表面を接触する工程、及び(e)前記2つの基板の前記表面を熱の適用により一緒にする工程を含む方法。
IPC (3件)：
C09J 5/00 JGV
, C09J183/14 JGF
, H01L 31/042
