圧力センサおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-200205
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028460
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】組立作業を容易に行える腐食性流体の圧力を検出可能な圧力センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】ボディ20には、センサエレメント10を収納する収納室21と、収納室21に連通する圧力導入孔24とが形成されている。センサエレメント10は内部に収納する圧力センサチップに圧力を導入する圧力導入管13を有し、圧力導入管13にOリング40およびオイル溜め部材41を装着し、オイル溜め部材41にシール剤43、オイル44、およびゲル状物質45に充填して、センサエレメント10に回路基板32を取り付け、回路基板32に形成されたトリミング用の厚膜抵抗をトリミングして出力を調整した後、オイル溜め部材41を収納室21側から圧力導入孔24に挿入して、センサエレメント10をボディ20に取り付ける。

請求項（抜粋）：

流体の圧力を検出する圧力センサチップと、圧力センサチップの出力を増幅する増幅回路や出力を調整するためのトリミング用の抵抗が形成された回路基板と、圧力センサチップや回路基板を収納する収納室および流体の圧力が導入され前記収納室に連通する圧力導入孔が形成されたボディと、圧力導入孔に挿入され流体の圧力を圧力センサチップに伝達する圧力伝達手段と、圧力伝達手段に装着され圧力導入孔の内面に密着するシール部材と、外寸が圧力導入孔における収納室側の開口よりも小さい寸法に形成され、非腐食性のオイルが充填される凹所が形成されるとともに凹所の底に圧力伝達手段が接続される被接続部が形成されたオイル溜め部材とを備え、オイル溜め部材の凹所および圧力伝達手段にオイルを充填し、圧力センサチップがオイルを介して圧力導入孔に導入された腐食性の流体の圧力を検出することを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/06 , G01L 19/14

FI (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 19/06 Z , G01L 19/14

Fターム (10件)：

2F055AA31 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE13 , 2F055FF38 , 2F055GG01 , 2F055GG25 , 2F055HH07 , 2F055HH11

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