特許
J-GLOBAL ID：200903040731340878
サブストレート処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235442
公開番号（公開出願番号）：特開平6-256944
出願日： 1992年08月11日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、サブストレートをプラズマによって処理する装置を提供することである。【構成】 少なくとも1つの陽極と、1つの陰極と、陽極/陰極通路内にパルス的に接続可能な直流電圧源とを具備し、電圧パルスの長さ及びパルス間の間隔の両方または何れか一方が調整可能になっている。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの陽極と、1つの陰極と、陽極/陰極通路にパルス的に接続可能な直流電流/電圧源とを備え、プラズマによってサブストレートを処理するための装置であって、電圧パルスの長さ及びパルス間の間隔の両方または何れか一方を調整可能にしたことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
