特許
J-GLOBAL ID：200903040736005082
ウエーハのリンス方法及びリンス装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082349
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273077
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 薬液洗浄やエッチング処理後のウエーハを、純水により効率良くリンスすることができる方法を提供する。【構成】 リンス廃液の溢流排出部2と、純水噴出ノズル4とを備えたリンス槽1の上方に、純水のヘッドタンク11を設ける。電磁弁15を設けた純水供給管14をヘッドタンクに接続し、この純水供給管の下部をリンス槽の溢流液面下に挿入する。このようなリンス槽とヘッドタンクとの組合せを複数段設けてリンス装置を構成する。各段のリンス工程においては、あらかじめリンス槽に適宜量の純水を貯溜し、バスケット51に複数枚のウエーハWを収納してリンス槽にセットし、噴出ノズルからの純水供給と並行して、ヘッドタンクから落差により、所定量の純水を純水供給管を介してリンス槽に供給し、これらの純水をバスケットの下方から上向流で流すとともに、リンス廃液を溢流排出部から排出する。
請求項（抜粋）：
薬液が残留付着したウエーハを純水によりリンスする方法において、上部にリンス廃液の溢流排出部を有するリンス槽と、該リンス槽の上方に位置するヘッドタンクとを設け、該ヘッドタンクにはリンス用の純水を貯溜し、一方、前記リンス槽には、複数枚のウエーハを互いに適宜間隔をあけ、平行に並べて収納したバスケットを、ウエーハの表面がほぼ鉛直方向になるように保持せしめ、前記ヘッドタンクの純水を落差によりリンス槽に供給して、前記バスケットの下方から上向流で流し、ヘッドタンクから供給した純水の一部または全量に相当する量のリンス廃液を、前記溢流排出部から排出することを特徴とするウエーハのリンス方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/10
