特許

J-GLOBAL ID：200903040737918251

ヘテロダイン2波長変位干渉計

発明者： 内川 清
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109873
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302810
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】 ヘテロダイン法を用いた2波長変位干渉計を、簡単な構成で提供する。【構成】 共軸または空間的に近接した状態で平行になるように設定されている少なくとも2種類以上の異なる波長の光波を、直交偏光ビームスプリッタにより各々参照光と測定光に分割し、各々の波長における参照光と測定光の光路差の変化を該参照光と測定光の光波の干渉により測定する2波長変位干渉計において、前記参照光および測定光の少なくとも一方の光周波数を変化させる変調手段7、8を設けた。

請求項（抜粋）：

共軸または空間的に近接した状態で平行になるように設定されている少なくとも2種類以上の異なる波長の光波を、直交偏光ビームスプリッタにより各々参照光と測定光に分割し、各々の波長における参照光と測定光の光路差の変化を該参照光と測定光の光波の干渉により測定する2波長変位干渉計において、前記参照光および測定光の少なくとも一方の光周波数を変化させる変調手段を有することを特徴とするヘテロダイン2波長変位干渉計。