特許
J-GLOBAL ID：200903040741329457
干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290285
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132507
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】簡単な構成でありながら、被検物体の変位方向および変位量を計測することのできる干渉計を提供する。【解決手段】光源1と、光源1から出射された光を、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタ6と、計測光の被検物体10による反射戻り光と参照光とを干渉させて検出する検出器3、4とを有する。ビームスプリッタ6は、位相の異なる2つの参照光を形成するために、参照光の一部の光束の位相を、残部の光束の位相に対してシフトさせる位相シフト機能を有する。検出器3、4は、位相の異なる2つの参照光を、それぞれ計測光の被検物体による反射戻り光と干渉させて検出する。位相シフト機能は、例えば、参照光の一部の光束の光路長を変化させるための段差7a、7bにより構成される。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源から出射された光を、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタと、前記計測光の被検物体による反射戻り光と前記参照光とを干渉させて検出する検出器とを有し、前記ビームスプリッタは、位相の異なる2つの参照光を形成するために、前記参照光の一部の光束の位相を、残部の光束の位相に対してシフトさせる位相シフト機能を有し、前記検出器は、位相の異なる2つの参照光を、それぞれ前記計測光の被検物体による反射戻り光と干渉させて検出することを特徴とする干渉計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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