特許

J-GLOBAL ID：200903040758685761

基板表面検査装置

発明者： 吉田 隆司
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308798
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124704
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 テクスチャの影響を受けず1μm以下の微小なパーティクルの測定が可能な表面検査装置を提供する。【解決手段】 回転軸と基板の中心が一致するように保持する回転ステージと、基板の表面または側面の一部を照射するための光源と、この光源からの反射光が直接入射しないような位置に設置された受像装置と、基板表面や側面の傷、若しくは基板表面や側面に付着したパーティクルで生じる散乱光または蛍光を前記受像装置に導く光学系と、前記受像装置からの電気信号に基づいて基板上のパーティクルを検出する光学式表面検査装置であって、前記光源からの出射光および反射光が、回転軸と交差しない位置に光源を設置する。

請求項（抜粋）：

回転軸と基板の中心が一致するように保持する回転ステージと、基板の表面または側面の一部を照射するための光源と、この光源からの反射光が直接入射しないような位置に設置された受像装置と、基板表面や側面の傷、若しくは基板表面や側面に付着したパーティクルで生じる散乱光または蛍光を前記受像装置に導く光学系と、前記受像装置からの電気信号に基づいて基板上のパーティクルを検出する光学式基板表面検査装置であって、前記光源からの出射光および反射光が、回転軸と交差しない位置に光源を設置することを特徴とする基板表面検査装置。

Fターム (19件)：

2G051AA71 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051CB10 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051CC20 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051ED09 ,  2G051FA01