特許

J-GLOBAL ID：200903040764718876

水素分離膜及びその製作方法

発明者： 中野 要治 ,  小林 敏郎
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 奥山 尚男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-105677
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296061
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 水素透過性能が大きく、かつ信頼性の高い水素分離膜の実現を目的とし、できるだけ薄くかつ欠陥もなく、しかも、強度的にも十分な水素分離膜の製作方法を提供する。【解決手段】 表面平坦度を有するシート状基材上にPd等の水素のみを選択的に透過する膜を0.1〜20μm形成し、更に柱状構造膜を40〜300μm形成し、上記基材を焼却または剥離することにより製作する水素分離膜およびその製作方法。

請求項（抜粋）：

表面平坦度を有するシート状基材上にPd等の水素のみを選択的に透過する膜を0.1〜20μm形成し、更に柱状構造膜を40〜300μm形成し、上記基材を焼却または剥離することを特徴とする水素分離膜の製作方法。

IPC (3件)：

B01D 71/02 500 ,  B01D 53/22 ,  C01B 3/56

FI (3件)：

B01D 71/02 500 ,  B01D 53/22 ,  C01B 3/56 Z