特許

J-GLOBAL ID：200903040765377924

パラメータ抽出方法

発明者： 遠田 利之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-236681
公開番号（公開出願番号）：特開平9-081598
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 物理的精度の高いパラメータの組合わせを抽出することである。【解決手段】 暫定的に設定した初期パラメータを用いて電気的特性を計算し、その計算値と実測値との誤差の算出を行い、この誤差の算出により誤差が所定の許容量に収束しない場合には、補正量を制限するパラメータと、補正量を制限しないパラメータとを選択し、前記制限を行うパラメータの係数行列を変更して制限される補正量を算出し、この算出された補正量により補正されたパラメータを用いて、電気的特性を計算し、その計算値と実測値との誤差の算出を行うことでパラメータを抽出する。

請求項（抜粋）：

複数のパラメータを反復法によって抽出する方法であって、補正量を制限する少なくとも1つの前記パラメータと、補正量を制限しない少なくとも1つの前記パラメータとを、補正量の算出を行う前に予め選択するステップと、この選択された補正量を制限する少なくとも1つの前記パラメータの補正量を制限して補正量を算出するステップと、この算出された補正量により補正されたパラメータを用いて、特性を計算するステップとを含み、前記特性の計算値と実測値との誤差が所定の範囲内となるまで上記のステップを少なくとも1回反復して行うことを特徴とするパラメータ抽出方法。