表面検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田澤博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-297172
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138201
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】被検査体の位置や撮像の際の視線方向の変動が被検査面上の疵検出に弊害となる課題があった。【解決手段】被検査面に対し斜めの見込み角度位置から撮像レンズを介して同軸の撮像光学系で取り込んだ異なる波長の光をそれぞれ分離する分離手段、前記分離した波長毎の光量を分割する分割手段、前記分割した波長毎の光を基に前記被検査面の像がそれぞれ結像される前記波長毎に設けられた対をなす撮像素子、該撮像素子の内の一方へ平滑化画像を結像させるためのフィルタ素子、前記被検査面へ前記波長の異なる光を照射する正反射用光源と散乱反射用光源、前記平滑化画像と非平滑化画像との間で演算を行う画像データ処理手段を備える。

請求項（抜粋）：

被検査面を撮像し、前記被検査面の疵または被検出点を検出する表面検査装置において、光の照射角度が前記被検査面を撮像する際の見込み角と等しい正反射の方向に配置され第1の波長の光を照射する正反射用光源と、光の照射角度が前記被検査面を撮像する際の前記見込み角と異なる散乱反射の方向に配置され前記第1の波長と異なる第2の波長の光を照射する散乱反射用光源と、前記被検査面に対して斜めの見込み角度位置から同軸の撮像光学系で取り込んだ前記それぞれ異なる波長の光を前記波長毎に分離するための分離手段と、該分離手段で分離した前記それぞれ異なる波長の光により前記被検査面の像が結像される撮像素子と、該撮像素子により前記異なる波長の光毎に撮像した前記被検査面の画像データを処理し、前記被検査面の疵または被検出点を検出する画像データ処理手段とを備えていることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/89 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01N 21/89 B , G01B 11/24 K

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭62-124448
特開昭62-038348
特開平1-297542

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