特許
J-GLOBAL ID:200903040771192120
マイクロレンズ・アレイ,そのスタンパおよびそれらの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
牛久 健司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-326784
公開番号(公開出願番号):特開平5-134103
出願日: 1991年11月15日
公開日(公表日): 1993年05月28日
要約:
【要約】【目的】 有効開口率が高く,かつ実用的に作製可能なマイクロレンズ・アレイおよびその製造方法を提供する。【構成】 マイクロレンズ・アレイ10は,基板11と,基板11上に形成された複数の方形枠12と,各枠12内に形成された上面からみて方形のレンズ素子13とから構成される。レンズ作用を行なわない部分は枠12の部分のみであるから,枠12を細くすることにより有効開口率を高めることができる。基板11上に枠12を形成し,各枠12内にレンズ母材を形成する。レンズ母材を溶融することにより,レンズ母材の表面張力によってその上面が上方に湾曲し,表面張力の等方性により湾曲面の曲率の等方性が保たれる。非点収差の殆どないマイクロレンズ・アレイを比較的容易に作製可能である。
請求項(抜粋):
基板上に二次元的に配列された複数の枠を形成し,各枠内に枠に接しない程度の大きさの可溶性をもつレンズ母材をそれぞれ形成し,各レンズ母材を各枠内で溶融することによりマイクロレンズの凸面を成形し,上記溶融したレンズ母材を硬化させる,マイクロレンズ・アレイの製造方法。
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開平4-245678
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特開昭63-142318
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特開昭64-067314
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