アライナーの精度測定装置およびその方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：矢野寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-120978
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318249
出願日： 2002年04月23日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：

【要約】【課題】アライナーの姿勢合わせ精度は、測定面の中心に目印を設けたアライナーの精度測定用ウエハをアライナー上に載置し、姿勢合わせ作業前後の目印をCCDカメラなどの撮像手段により画像撮影し、両画像よりずれ量およびずれ角度を算出していたが、姿勢合わせ精度は撮像手段の分解能に規制され、ウエハのずれ量およびずれ角度を精度良く測定するのが困難であった。【解決手段】載置台17上の基準位置に着脱可能に取り付けられる精度測定用ウエハ22の測定表面に所定間隔を隔てて設けられた一対の目印24a・24bを、該ウエハが基準位置に有るときと該ウエハをアライナー11によって姿勢合わせしたときとにおいて撮像する撮像手段21と、前記それぞれの撮像から得られる画像情報を基にアライナーの精度を測定する画像処理装置とからなるアライナー精度測定装置15を構成した。

請求項（抜粋）：

ウエハ載置台上に載置されるウエハの姿勢合わせを行うアライナーの精度を測定する精度測定装置であって、前記ウエハ載置台上の基準位置に着脱可能に取り付けられる精度測定用ウエハの測定表面に所定間隔を隔てて設けられた一対の目印を、該ウエハが基準位置に有るときと該ウエハをアライナーによって姿勢合わせしたときとにおいて撮像する撮像手段と、前記それぞれの撮像から得られる画像情報を基にアライナーの精度を測定する画像処理装置とからなるアライナーの精度測定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G01B 11/26 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 F , G01B 11/26 H , H01L 21/30 502 J

Fターム (44件)：

2F065AA20 , 2F065AA32 , 2F065BB03 , 2F065BB15 , 2F065BB27 , 2F065CC00 , 2F065CC19 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 5F031CA02 , 5F031CA11 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031GA35 , 5F031GA58 , 5F031HA12 , 5F031HA13 , 5F031HA59 , 5F031JA03 , 5F031JA04 , 5F031JA05 , 5F031JA15 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031JA38 , 5F031JA50 , 5F031JA51 , 5F031KA11 , 5F031KA12 , 5F031KA13 , 5F031KA14 , 5F031PA16 , 5F046CD01 , 5F046CD04

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