特許
J-GLOBAL ID：200903040774448630
投影露光装置及び偏光子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023743
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226225
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 定在波の発生によるレジスト寸法精度の劣化を防止する。【構成】 投影レンズ19の瞳面上に配置された偏光子21が光源11〜13から発した照明光をその光軸に対して放射状の偏光面を有する偏光に変換することにより、ウエハ20の表面に収束する光束はウエハ20の主面に対してP偏光となる。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源から発した照明光を回路パターンが形成されたマスク上に照射させる集光レンズと、マスクを通過した照明光をウエハ表面に収束させる投影レンズと、前記投影レンズの瞳面上に配置されると共にウエハ表面に収束する照明光をその光軸に対して放射状の偏光面を有する偏光に変換する偏光子とを備えたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 5/30
, G03F 7/20 521
