特許
J-GLOBAL ID：200903040775212222
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101897
公開番号（公開出願番号）：特開平8-298091
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【構成】電子線を試料5上に走査する電子光学系と、走査によって得られた画像を記憶する画像メモリ11と、あらかじめ登録した参照パターンの画像上の位置を検出し、さらに類似したパターンの類似度を求める画像処理装置によって、参照パターン自身の類似度と次に類似度の高いパターンの値によって閾値を求め、パターン検出時に、この類似度の閾値以上のパターンを検出する。【効果】最適なパターンを選択し、また最適な閾値を決定することによって、パターン検出を行う際の検出時間が短縮される。これにより実デバイス上の様々なパターンの自動測定が可能となり、また半導体製造ラインの自動測定とスループットが向上する。
請求項（抜粋）：
電子線を試料上に走査し、走査に伴って放出される二次電信号より試料表面の画像を得る手段と,得られた画像上の任意の参照パターンを登録する手段と,あらかじめ登録した参照パターンの画像上の位置を検出する手段と,参照パターンと被検出パターンとの類似度を求める手段と,画像上に参照パターンと類似したパターンが存在する場合、前記検出位置と類似度を複数求める手段を有する走査電子顕微鏡において、参照パターンを登録する際、参照パターンを登録した視野で、再度取り込んだ画像上でパターン検出を行い、参照パターン自身の類似度と次に類似度の高いパターンの値によって閾値を求め、パターン検出時に、この類似度の閾値以上のパターンを検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/28
H01J 37/22 502 Z
, H01J 37/28 Z
