特許

J-GLOBAL ID：200903040776521245

搬送トレイ

発明者： 関家 一馬 ,  荒井 一尚
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195680
公開番号（公開出願番号）：特開2000-025881
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】 ペレットを収容して搬送する搬送トレイにおいて、種々の大きさのペレットに対応して汎用性、経済性を高めると共に、長期間搬送トレイとしての機能を維持し、搬送後もペレットの品質を劣化させないようにする。【解決手段】 無数の気孔が少なくとも表面に形成され押圧した際に弾性による復元力と密着性とによって気孔に負圧が生じて吸着力を生じる弾性パッドと、その弾性パッドを支持する枠体とから構成される搬送トレイを提供する。

請求項（抜粋）：

ペレットを保持して搬送するための搬送トレイであって、無数の気孔が少なくとも表面に形成され押圧した際に弾性による復元力と密着性とによって該気孔に負圧が生じて吸着力を生じる弾性パッドと、該弾性パッドを支持する枠体とから構成された搬送トレイ。

Fターム (14件)：

3E096AA09 ,  3E096BA08 ,  3E096BB08 ,  3E096CA06 ,  3E096CB03 ,  3E096DA03 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02Y ,  3E096FA01 ,  3E096FA15 ,  3E096GA01 ,  3E096GA11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェーハ吸着テーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-336715   出願人：株式会社東京精密
• 収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-267713   出願人：株式会社日立製作所, 日立東部セミコンダクタ株式会社