透明基材上に金属窒化物系の層を堆積させる方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-190428
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187713
出願日： 1994年08月12日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【目的】良好な収率、工業的な規模での使用が容易なこと、そして得られた層の測色、特に透過光の測色が好都合なものであることを兼ね備えた、金属窒化物層の気相成長方法を提供する。【構成】高温に昇温した透明基材、特にガラス基材に、少なくとも1種の金属前駆物質とアミンの形をした少なくとも1種の窒素前駆物質とを同時に接触させることで、基材上に金属窒化物又は酸窒化物、特に窒化チタン又は酸窒化チタンに基づく層を気相熱分解成長させる。

請求項（抜粋）：

透明な基材、特にガラス基材の上に金属窒化物又は酸窒化物、より詳しく言うと窒化チタン又は酸窒化チタンに基づく層を気相熱分解成長させるための方法であって、少なくとも1種の金属前駆物質とアミンの形をした少なくとも1種の窒素前駆物質とを高温に昇温された基材に同時に接触させることからなることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

C03C 17/22 , C23C 16/34

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-126605
熱的加工可能な断熱ガラス
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-286230 出願人：セントラル硝子株式会社
特開昭62-070208

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審査官引用 (11件)

特開平3-126605
熱的加工可能な断熱ガラス
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-286230 出願人：セントラル硝子株式会社
特開昭62-070208

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