リニアモータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065252
公開番号（公開出願番号）：特開平7-274552
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】微動させて精密位置決めが可能にする共に、1つのモータにより粗動と微動を行うことを可能にする。【構成】相対運動部材16に接触する弾性体11と、弾性体11に結合される圧電素子12〜15と、圧電素子12〜15に駆動電圧が緩やかに変化する第1の波形部と急激に変化する第2の波形部とを有する駆動信号を繰り返し発生する第1の波形発生器24と、圧電素子12〜15の所定位置に位相の異なる正弦波を印加することより、弾性体11に縦振動と屈曲振動との合成振動により生ずる楕円運動に発生させる第2の波形発生器22と、各波形発生器14,22の出力を選択的に切り換える制御器21とを備えた。

請求項（抜粋）：

相対運動部材に接触する弾性体と、前記弾性体に結合される電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子に駆動電圧が緩やかに変化する第1の波形部と急激に変化する第2の波形部とを有する駆動信号を繰り返し発生する第1の駆動信号発生手段とを備えたことを特徴とするリニアモータ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-289368
特開平1-122375
特開平3-289374

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