特許

J-GLOBAL ID：200903040786115350

マイクロチャンネルチップ

発明者： 松本 浩造
出願人/特許権者： 富士電機システムズ株式会社
代理人 (1件)： 篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-373370
公開番号（公開出願番号）：特開2004-202336
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】流路壁面を腐食されず、且つ常に清浄な状態を維持できて、高い安定性および信頼性を備えたマイクロチャンネルチップを提供する。【解決手段】親水性で化学的に活性なシリコンからなる基板2aの流路3の壁面に、窒化珪素からなる撥水性表面保護膜4を備えている。撥水性表面保護膜を蓋板1側に備えることも有効であり、窒化珪素を、他の窒化物や窒化物を主成分とする複合体に置き換えることも有効である。更に、蓋板1および基板2aの材料として、流路3の壁面に紫外線を照射できる材料を使用し、撥水性表面保護膜4を、光触媒活性を有する物質、例えば酸化チタンやその複合体、の薄膜に置き換えることも有効である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

原料流体を供給する複数の供給口と、供給された複数の原料流体が混合された結果として送り出されてくる反応結果流体を取り出す取出し口と、を備え、且つ、供給口から取出し口までの流体の流路を形成するための凹部や貫通部を有する複数の板材が一体化されてなるマイクロチャンネルチップであって、 前記の複数の板材の全部または撥水性および化学的安定性の劣る板材の、少なくとも流路を形成する部分の表面に撥水性表面保護膜を備えている、 ことを特徴とするマイクロチャンネルチップ。

IPC (3件)：

B01J19/00 ,  B01J21/06 ,  B01J35/02

FI (3件)：

B01J19/00 321 ,  B01J21/06 M ,  B01J35/02 J

Fターム (21件)：

4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069CD10 ,  4G069DA06 ,  4G069EA08 ,  4G069ED04 ,  4G069FA01 ,  4G069FA03 ,  4G069FB02 ,  4G075AA02 ,  4G075AA70 ,  4G075CA33 ,  4G075CA54 ,  4G075DA02 ,  4G075FA12 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FC20