特許
J-GLOBAL ID：200903040788979123
微粒子成分分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-289038
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138091
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】マイクロ波誘導プラズマで解離した1個の微粒子に含まれる多元素を瞬時に分析できる微粒子成分分析装置を提供する。【構成】マイクロ波誘導プラズマを利用して微粒子の元素分析を行なう微粒子成分分析装置において,キャビティ内にマイクロ波誘導プラズマを生じさせる放電管と,該キャビティ内に冷却水を循環供給する冷却ユニットと,前記マイクロ波誘導プラズマ内のイオンを一定時間毎に引き出す第1グリッドと,該第1グリッドにより引き出されたイオンを加速する第2グリッドと,該第2グリッドに前記イオンが飛行するドリフト空間を介して対向して配置されたイオン陰極と,該イオン陰極に到達した電子を増倍する2次電子増倍管と,その増倍された2次電子を捕えて電気信号に変換する陽極と,該陽極からの電気信号を増幅する広帯域増幅器と,前記イオン陰極に到達したイオンの到達時間を測定するパルス遅延トリガーを備えている。
請求項（抜粋）：
マイクロ波誘導プラズマを利用して微粒子の元素分析を行なう微粒子成分分析装置において,キャビティ内にマイクロ波誘導プラズマを生じさせる放電管と,該キャビティ内に冷却水を循環供給する冷却ユニットと,前記マイクロ波誘導プラズマ内のイオンを一定時間毎に引き出す第1グリッドと,該第1グリッドにより引き出されたイオンを加速する第2グリッドと,該第2グリッドに前記イオンが飛行するドリフト空間を介して対向して配置されたイオン陰極と,該イオン陰極に到達した電子を増倍する2次電子増倍管と,その増倍された2次電子を捕えて電気信号に変換する陽極と,該陽極からの電気信号を増幅する広帯域増幅器と,前記イオン陰極に到達したイオンの到達時間を測定するパルス遅延トリガーからなり,前記第1,第2グリッドにより引出されたイオンの成分を所定時間内に分析することを特徴とする微粒子成分分析装置。
IPC (3件)：
G01N 27/62
, G01N 27/68
, H01J 49/40
