特許
J-GLOBAL ID：200903040789536713
Mgの蒸発方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094333
公開番号（公開出願番号）：特開平8-269696
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月15日
要約：
【要約】【目的】 酸化膜や反応生成物膜で溶融Mgの表面が覆われることなく、安定した条件下でMgを溶融状態から蒸発させる。【構成】 真空雰囲気に配置された蒸発槽2からMgを蒸発させる際、蒸発槽の開口部1の面積をW<SB>1</SB> (mm<SP>2</SP> ),溶融Mg7の蒸発面積をW<SB>2</SB> (mm<SP>2</SP> ),Mgの蒸気圧をP<SB>Mg</SB>(トール),真空度をV(トール)とするとき、W<SB>1</SB> /W<SB>2</SB> <0.6×(P<SB>Mg</SB>/V<SP>3</SP> )及びW<SB>1</SB> /W<SB>2</SB> <0.04×P<SB>Mg</SB>が満足される条件下でMgを蒸発させる。蒸発槽中のMgは、770°C以下の温度に保持することが好ましい。【効果】 蒸発速度の変動がなく安定したMgの蒸着ができ、蒸着めっきライン等のMg蒸発源として使用される。
請求項（抜粋）：
真空雰囲気に配置された蒸発槽からMgを蒸発させる際、蒸発槽の開口面積をW<SB>1</SB> (mm<SP>2</SP> ),蒸発面積をW<SB>2</SB> (mm<SP>2</SP> ),Mgの蒸気圧をP<SB>Mg</SB>(トール),真空度をV(トール)とするとき、W<SB>1</SB> /W<SB>2</SB> <0.6×(P<SB>Mg</SB>/V<SP>3</SP> )及びW<SB>1</SB> /W<SB>2</SB> <0.04×P<SB>Mg</SB>が満足される条件下でMgを蒸発させることを特徴とするMgの蒸発方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 U
, C23C 14/14 D
