特許

J-GLOBAL ID：200903040792448868

被識別機能付き半導体基板

発明者： 兵三 正彦 ,  辻井 利之 ,  多田 哲生 ,  野田 寛 ,  高木 亮一 ,  浅井 幹生
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131599
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320911
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 種類が簡単に判る半導体基板を提供する。【解決手段】 ベアチップ1は、半導体素子が中央部に集積される表面1aと、図示されない裏面とを備えており、長方形状である。ベアチップ1は自身の一辺に、半導体素子の種類に応じて切れ目2が形成されている。切れ目2は矩形状であり、ベアチップ1の表面1aから裏面へと貫通している。例えば、切れ目2が“1”を、切れ目2が形成されていない部分が“0”を表しているとみなすことによって、切れ目2の有る無しによって1ビットの情報が与えられる。これを複数箇所検出することによって、検出結果に応じた2進数の情報、すなわちベアチップ1の種類に関する情報が得られる。検出方法としては、ベアチップ1へと光を照射し、その光が切れ目2によって透過されるかあるいはベアチップ1本体によって遮光されるかを検出する方法が挙げられる。

請求項（抜粋）：

中央部に半導体素子が集積される第1の主面と、第2の主面とを有し、前記半導体素子に応ずる情報によって自身の種類が識別される、半導体ウェーハが分割されて形成された被識別機能付き半導体基板であって、前記第1の主面の周辺部と前記第2の主面とのうちの少なくともいずれか一方には、前記情報に応じて選択的に印が形成されており、前記印は、前記被識別機能付き半導体基板に照射される光の反射の状態を自身によって部分的に異ならせることによって、2値論理に対応する互いに異なる2つの状態を与え、前記2つの状態の選択的な組み合わせによって前記情報が与えられる被識別機能付き半導体基板。