特許

J-GLOBAL ID：200903040805479237

エッチング用電極、及びその製造方法

発明者： 北村 俊明 ,  高田 俊助 ,  西澤 節 ,  鈴木 哲雄 ,  野沢 俊久 ,  村松 一生 ,  河合 明博
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195389
公開番号（公開出願番号）：特開平9-041166
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：

【要約】【課題】 ガラス状カーボンよりも、一層寿命が長く、安価なエッチング用電極を提供することを目的とする。【解決手段】 見掛け密度が1.7以上の高密度結晶構造を有する硬質カーボンをからなるエッチング用電極とする。

請求項（抜粋）：

見掛け密度が1.7以上の高密度微結晶構造を有する硬質カーボンからなることを特徴とするエッチング用電極。

IPC (5件)：

C23F 4/00 ,  C01B 31/02 101 ,  C04B 35/52 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/34

FI (5件)：

C23F 4/00 Z ,  C01B 31/02 101 A ,  H05H 1/34 ,  C04B 35/52 A ,  H01L 21/302 C