特許

J-GLOBAL ID：200903040806077701

ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置

発明者： 古瀬 昭男
出願人/特許権者： 株式会社コスモ計器
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288315
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118657
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 適正なドリフト補正値を自動的に算出し、取扱が容易な洩れ検査装置を提供する。【解決手段】 被検査体及び接続治具、環境温度等を測定し、被検査体と接続治具間の温度差及び環境温度に応じてドリフト補正値を算出し、このドリフト補正値を被検査体と基準タンク間に発生する差圧値から減算することによって温度変動等によって発生するドリフト成分を除去し、真の洩れ量に対応する差圧値を求めて洩れの有無を判定する。

請求項（抜粋）：

被検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、印加完了時点で加圧気体の供給路を蔽断し、上記印加完了時点から一定時間が経過した時点で上記被検査体と基準タンクとの間の差圧値を差圧検出器によって測定し、その差圧値からドリフト補正値Dを除去し、その残差値が所定値以上か以下かによって上記被検査体に洩れが有るか否かを判定する洩れ検査装置において、上記被検査体の初期温度T1を測定する温度センサと、被検査体を洩れ検査装置に接続する接続治具の初期温度T2を測定する温度センサと、上記被検査体と基準タンクとの間を導通状態と非導通状態に制御する平衡手段と、演算手段とを設け、上記ドリフト補正値Dを算出するモデル式をD=A(T1-T2)+Cと定め、T1=T2の条件下において、上記被検査体と基準タンクに加圧気体を印加し、加圧気体の印加後に加圧気体の供給路を蔽断し、この蔽断状態において一定時間経過する毎に上記差圧検出器で被検査体と基準タンク間に発生する差圧値を測定すると共に、この差圧値の測定が終了する毎に一定時間ずつ上記平衡手段を動作させて上記被検査体と基準タンク間の圧力差を平衡させる動作を繰返し、平衡動作を実行する毎に発生する差圧値が一定値に収束したことを検出して、その収束した差圧値を初回に発生した差圧値から上記演算手段により減算し、その減算結果を上記T1=T2の条件下におけるドリフト補正値D1=Cとして算出することを特徴とするドリフト補正値算出装置。