特許
J-GLOBAL ID：200903040807681394
ミクロンサイズのエキストラクタ開口部へのマイクロカラム針状先端の正確な位置合わせ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-584506
公開番号（公開出願番号）：特表2002-530834
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：
【要約】電子エミッタをマイクロカラムのエキストラクタ・ホールに位置合わせするための方法およびそれに付随する装置である。膜を形成するための窓と共に定められ、かつ2軸上に位置付けられた底を有する、4本のV字溝がチップ上に微細加工される。軸は直角に交差し、エキストラクタ・ホールの中心点を定める。次に電子エミッタをエキストラクタ・ホールに、1度に1軸ずつ、位置合わせするための基準としてV字溝が使用される。エキストラクタ・ホールがV字溝を基準として形成されたので、エミッタは正確にエキストラクタ・ホールに位置合わせされる。エミッタとエキストラクタ間の間隔の基準として、チップの厚さが用いられる。
請求項（抜粋）：
チップを用意するステップと、 前記チップの表面に複数の溝を定めるステップと、 前記チップの中心部に膜を定めるステップと、 前記膜の中心にエキストラクタ・ホールを形成するステップと、 前記溝を基準として、エミッタを前記エキストラクタ・ホールに位置合わせするステップとを備えるエミッタとマイクロカラムのエキストラクタ・ホールを位置合わせする方法。
IPC (4件)：
H01J 9/14
, H01J 9/18
, H01J 37/04
, H01J 37/073
H01J 9/14 F
, H01J 9/18 B
, H01J 37/04 B
, H01J 37/073
5C027JJ04
, 5C027JJ05
, 5C030AA09
, 5C030CC03
, 5C030CC04
