特許

J-GLOBAL ID：200903040815187196

上下に重なる多数の層からなる薄膜構造の製造方法

発明者： ヨアヒム グリュック
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-207625
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081710
出願日： 1999年07月22日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】 上下に重なる多数の層からなる薄膜構造の製造方法において、共通のマスキングを伴う少なくとも2つの層の構造化の際に、次に配置される層における中断、特に共通のエッチング層の張り出しエッジに起因する中断が確実に回避されるように改善を行うこと。【解決手段】 感光性の層の真下にある層を感光層マスキングに応じてエッチングし、この場合マスキング下のアンダーエッチングが誘引され、引続き前記感光層と共に薄膜構造部に温度処理を施し、この場合の処理は、前記感光層がエッチングされた層の縁部に亘って流れ出しこれを完全に覆うように配分され、それに続いて下方に存在する層のエッチングを、適切な感光層を用いて行う。

請求項（抜粋）：

上下に重なる多数の層からなる薄膜構造の製造方法であって、少なくとも2つの相前後して被着される層が層の構造化のために共通のマスキングによってエッチングされ、該マスキングのために感光性の層が用いられている形式のものにおいて、a)まず感光性の層(25)の真下にある層(23)を感光層マスキングに応じてエッチングし、この場合マスキング下のアンダーエッチングが誘引され、b)引続き前記感光層(25)と共に薄膜構造部に温度処理を施し、この場合の処理は、前記感光層がエッチングされた層(26,27)のエッジの上を流れ出しこれを完全に覆うように配分され、c)それに続いて下方に存在する層(23)のエッチングを、適切な感光層(25)を用いて行うステップからなることを特徴とする方法。

IPC (5件)：

G03F 7/26 511 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/306

FI (5件)：

G03F 7/26 511 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/30 573 ,  H01L 21/302 J ,  H01L 21/306 P