特許
J-GLOBAL ID：200903040816667671
誘導型絶対位置測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363026
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213408
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 高精度で汚染に強く、且つ製造が容易な誘導型絶対位置測定装置を提供する。【解決手段】 3つのトランスジューサ210,220,230は、それぞれ送信巻線212,222,232を有し、波長がλ1,λ2,λ3で二つずつオーバーラップすると共に波長の1/4だけずれて配置される受信巻線の組(214,216),(224,226),(234,236)を備える。さらに各トランスジューサはそれぞれ波長λ1,λ2,λ3の1/2に等しい幅の磁束変調器170を有するスケールを備える。波長の異なる二つのトランスジューサの位相差を求めることで、いずれか単独で得られる絶対位置測定レンジよりも長い絶対位置測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
スケール部材と、このスケール部材に対して測定軸に沿って相対移動可能に配置された読み出しヘッド部材と、この読み出しヘッド部材とスケール部材の相対位置に応じた位置信号を出力する誘導位置トランスジューサを複数備え、前記各々の誘導位置トランスジューサは、前記読み出し部材上に形成された送信手段および受信手段とを備えると共に、この送信手段と受信手段との誘導結合が連続して空間変調されるように、受信手段に含まれる巻線ループの極性が交互に入れ替わる連続周期パターンを形成するセグメントを備え、前記スケール部材は、前記送信手段と前記受信手段との間の誘導結合が前記読み出し部材と前記スケール部材との相対位置に基づいて連続して空間変調されるように前記スケール部材の測定軸に沿って分散配置された複数の磁束変調器を備え、前記受信手段の巻線ループの連続周期パターンの波長は、各々の誘導位置トランスジューサ毎に異なっていることを特徴とする誘導型絶対位置測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 7/00 D
, G01B 21/02 H
