特許

J-GLOBAL ID：200903040818561005

弾性部材

発明者： ジョン エイチ.トレジルガス ,  リチャード エル.ナイプ ,  トマス ダブリュ.オレント ,  吉原 秀一 ,  エリオット ケイ.カーペンター
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342207
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281417
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 微小機械装置に対する改良された弾性部材を提供する。【解決手段】 微小機械装置12が静止部材28及び可動部材26を含み、これらが弾性部材24によって一緒に接続されている。可動部材26が反復的にそして頻繁に移動する為、弾性部材24は永久的に撓み又は変形することがあり、その結果、装置の動作が不良になる。希望によっては窒素と組合せて、酸素を含むようにアルミニウム合金を形成して、荷重緩和特性を劇的に減少した被膜を得る。デポジッションの際、アルゴンのスパッタリング・ガスに酸素を添加し、アモルファス膜を作る。

請求項（抜粋）：

微小機械装置の1つの構成要素が動いたときに撓む微小機械装置用の弾性部材であって、酸素不純物を含む1つ又は更に多くの導電性アモルファスアルミニウム合金で構成された弾性部材。