特許

J-GLOBAL ID：200903040818766642

赤外線センサ、センサモジュール、赤外線センサの製造方法

発明者： ヨッヘン フランツ ,  フランク ライヒェンバッハ ,  ディーター マウラー ,  ホルガー ヘーファー ,  マルクス-アレクサンダー シュヴァイカー
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-519747
公開番号（公開出願番号）：特表2008-505331
出願日： 2005年05月11日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

本発明は、例えば、測定構造部(11)を有するセンサチップ(10)と、前記センサチップ(10)上に取り付けられていて、当該センサチップ(10)と共にセンサスペース(23)を形成するキャップチップ(20)からなる少なくとも1つの前記測定構造部(11)を有する赤外線センサに関しており、その際、前記キャップチップ(20)の上側面(24)上に、内側絞り領域(25b,32b)と、当該内側絞り領域(25b,32b)を取り囲む外側絞り領域(25a,32a)を有する絞り(25,32)が形成されており、その際、前記内側絞り領域(25b,32b)は、前記測定構造部(11)の上側に形成されていて、且つ、検出すべき赤外線ビーム(IR1)に対して透過性であり、前記外側絞り領域(25a,32a)は、入射赤外線ビーム(IR2)に対して少なくとも部分的に不透過性である。この際、外側絞り領域は、殊に、金属又は誘電体層からなる反射コーティングとして、斜め面を有する各溝又は吸収構造部によって反射構造化部として形成することができる。

請求項（抜粋）：

赤外線センサにおいて、少なくとも1つのセンサチップ(10)と、キャップチップ(20)を有しており、前記センサチップ(10)は、測定構造部(11)を有しており、前記キャップチップ(20)は、前記センサチップ(10)上に取り付けられていて、前記センサチップ(10)と共にセンサスペース(23)を形成し、前記キャップチップ(20)の上側面(24)上に、内側絞り領域(25b,32b)と当該内側絞り領域(25b,32b)を取り囲む外側絞り領域(25a,32a)を有する絞り(25,32)が形成されており、 前記内側絞り領域(25b,32b)は、前記測定構造部(11)の上側に形成されていて、且つ、検出すべき赤外線ビーム(IR1)に対して透過性であり、前記外側絞り領域(25a,32a)は、入射赤外線ビーム(IR2)に対して少なくとも部分的に不透過性であることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  H01L 35/32

FI (4件)：

G01J1/02 C ,  G01J1/02 R ,  G01J1/02 H ,  H01L35/32 A

Fターム (11件)：

2G065AB02 ,  2G065AB27 ,  2G065AB28 ,  2G065BA11 ,  2G065BA14 ,  2G065BA36 ,  2G065BB20 ,  2G065BB26 ,  2G065BB46 ,  2G065DA07 ,  2G065DA20