特許

J-GLOBAL ID：200903040824117745

半導体圧力センサ

発明者： 沢村 博之
出願人/特許権者： 北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310133
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126925
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 温度の変化等外部からの影響によるノイズが少なく、かつ有機溶媒ガスの圧力測定に精度良く使用することができる。【解決手段】 半導体の圧力センサ素子20と、この圧力センサ素子20が載置され被測定圧を導入する圧力導入部25とが気密状態に接合される。圧力センサ素子20の底面が載置される圧力導入部25の面、または圧力センサ素子20の底面に、複数個の突起52,54を設け、圧力センサ素子20を圧力導入部25に載置した状態で形成される間隙に接着剤32を充填し接合する。

請求項（抜粋）：

半導体の圧力センサ素子と、この圧力センサ素子が載置され被測定圧を導入する圧力導入部とが気密状態に接合された半導体圧力センサにおいて、上記圧力センサ素子の底面が載置される上記圧力導入部の面に、複数個の突起が設けられ、上記圧力センサ素子を上記圧力導入部に載置した状態で形成される間隙に接着剤が充填され接合されたことを特徴とする半導体圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/04

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-345425   出願人：北陸電気工業株式会社