特許

J-GLOBAL ID：200903040826403303

Alを含む半導体材料からなるレンズ、それを用いた面型光素子、及びその製造方法

発明者： 福谷 和彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-008401
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214404
出願日： 2001年01月17日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】簡単な方法で大量に作製でき、その形状を容易に制御性良く形成できるマイクロレンズなどのレンズである。【解決手段】マイクロレンズなどのレンズは、少なくともAlを含む半導体材料からなるレンズであって、基板201に平行な面内では均一な組成であり基板201に垂直な方向にはAl濃度が変化した柱状の半導体領域が基板201上に形成され、柱状の半導体領域の一部が柱状の側壁面から酸化されてなる酸化領域206が半導体領域に形成され、酸化されていない半導体領域202の形状が立体形状で残って成る。

請求項（抜粋）：

少なくともAlを含む半導体材料からなるレンズであって、基板に平行な面内では均一な組成であり該基板に垂直な方向にはAl濃度が変化した柱状の半導体領域が該基板上に形成され、該柱状の半導体領域の一部が該柱状の側壁面から酸化されてなる酸化領域が該半導体領域に形成され、酸化されていない半導体領域の形状が立体形状で残って成ることを特徴とするレンズ。

IPC (4件)：

G02B 3/00 ,  G02B 1/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/14

FI (5件)：

G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 B ,  G02B 1/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/14 D

Fターム (18件)：

4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5F045AA04 ,  5F045AA08 ,  5F045AB10 ,  5F045AB17 ,  5F045AB18 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045AF04 ,  5F045CA12 ,  5F045DA55 ,  5F045DA58 ,  5F045HA13 ,  5F045HA14 ,  5F045HA16