特許
J-GLOBAL ID：200903040837973446
面板異物検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-278918
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093697
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 面板異物検査装置において、?@面板の高さ変化によるレーザビームの照射位置の移動、?A出荷時などの運送や稼働による照射角度の方向変化による照射位置の移動、および?Bプリント基板の基材の銅箔による表面散乱光によるノイズの3つの問題点を解決する。【構成】 面板1または2によるレーザビームLT の正反射光LR を受光し、受光位置の変化により面板の高さ位置の変化量を検出する高さ位置検出部7を設け、面板を基準高さ位置に位置合わせしてレーザビームLT を基準照射位置R0 に照射する。載置台5に基準面を有する較正板8を固定し、基準面に照射されたレーザビームの散乱光を分割するハーフミラー91と、分割された散乱光を受光する照射位置検出器92とにより構成された較正光学系9を設ける。1に対して照射されたレーザビームLT の、銅箔の表面による表面散乱光を遮光する遮光板を、異物検出器43の直前に設ける。
請求項（抜粋）：
載置台に被検査の面板を基準高さ位置として載置し、該面板の基準照射位置に対して低角度でレーザビームを照射し、該面板に対して垂直方向に設けられた異物検出器により、該面板に付着した異物による異物散乱光を受光し、前記異物を検出する異物検出光学系を有する異物検査装置において、該異物検出光学系に対して、前記面板による前記レーザビームの正反射光を受光し、該受光位置の変化により、前記基準高さ位置に対する前記面板の高さ位置の変化量を検出する高さ位置検出部を付加し、該高さ位置検出部の検出信号により前記異物検出光学系と該高さ検出部の両方と該面板を相対的に上昇/下降して、前記面板を前記基準高さ位置に位置合わせする上下移動制御部を設けたことを特徴とする、面板異物検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H05K 3/00
