特許
J-GLOBAL ID：200903040838036403
プロセス情報のデータ収集装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046670
公開番号（公開出願番号）：特開平5-250494
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】多チャンネル・大容量プロセス情報のデータ収集を効率的に行ない、実動作中のプロセス状態を高速にモニタ表示すると共に、異常検知及びそれが予測される場合にプロセス制御装置に速やかに異常発生を報知することを目的とする。【構成】成膜装置を直接制御するプロセス制御装置と、その成膜装置内の複数の各プロセス室からのタイミング情報を受けて成膜装置内の各プロセス情報をその種類毎にA/D変換して、一時記憶メモリにデータ収集を行うと同時に、プロセス情報の異常検知を行う複数のデータ収集コントローラ及び各データ収集コントローラ内の一時記憶メモリ内のデータを吸上げ、ハードディスク内に蓄積するサーバとこのサーバから必要に応じて収集した結果をモータ表示する表示用コントローラとから、プロセス状態を迅速かつ詳細にモニタリングし、異常の監視とプロセス状態の表示を行う。
請求項（抜粋）：
成膜装置等のプロセス設備に於いて、該プロセス設備の成膜動作機構を直接制御するプロセス制御装置と該プロセス設備内の複数の各プロセス室からのタイミング情報を受けて、成膜装置内の各プロセス情報をその種類毎にA/D変換して、一時記憶メモリ内にデータ収集を行ない、取込んだプロセス情報の異常検知を行なう複数のデータ収集コントローラと、該データ収集コントローラの一時記憶メモリに格納されたプロセスデータを吸上げて、外部記憶装置に蓄積するサーバと該サーバから必要に応じて、検索して取出したプロセス情報をモニタ表示し、異常傾向の予測と警報送出機能を有する表示用コントローラとから成ることを特徴とするプロセス情報のデータ収集装置。
IPC (4件)：
G06F 15/74 310
, C23C 14/54
, G01D 7/00 301
, G05B 23/02 301
