ディスク表面検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山野睦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-165254
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340450
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】ディスク表面上の極めて小さい凹凸の有無を検出することができるディスク表面検査装置を提供する。【解決手段】光学部13は可動の対物レンズ11を介してディスク面にレーザビームを照射し、その反射光を4分割フォトダイオードとCCDで受ける。CCDにより読み取られた像は画像記憶部14に記憶され、その画像を凹凸検出部16で処理してディスク表面上の微小な凹凸の有無を検出する。自動焦点制御部18は、4分割フォトダイオードからのRF信号20およびFOCUS信号21に基づいて、非点収差法により対物レンズからディスク表面までの距離を検出し、該距離に基づいてレンズ駆動信号22を生成する。好ましくは、非点収差法による位置検出範囲より広い検出範囲の検出が可能な位置検出素子(PSD)を用いて、対物レンズ位置を非点収差法による位置検出範囲に追い込む。

請求項（抜粋）：

被検査対象のディスク表面にある微小な凹凸の有無を検出するディスク表面検査装置であって、ディスク表面に照射すべき光ビームを発生する光ビーム発生部、該光ビーム発生部により発生された光ビームをディスク表面に焦点合わせするための可動の対物レンズ、および該対物レンズを可動制御する可動制御部を含み、ディスク表面の像を読み取る光学部と、該光学部により読み取られた像を画像として記憶する画像記憶部と、該画像記憶部に記憶された画像を処理することによりディスク表面上の微小な凹凸の有無を検出する画像処理手段と、前記光学部の対物レンズから得られる信号に基づいて対物レンズからディスク表面までの距離を検出し、該距離に基づいて対物レンズの位置を変化させることにより焦点制御を行う自動焦点制御手段と、を備えたことを特徴とするディスク表面検査装置。

IPC (4件)：

G11B 5/84 , G01B 11/00 , G01B 11/30 , G01N 21/88

FI (6件)：

G11B 5/84 C , G01B 11/00 G , G01B 11/00 B , G01B 11/30 D , G01B 11/30 G , G01N 21/88 G

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