特許
J-GLOBAL ID：200903040847943111
顕微測光装置における反射光測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174761
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012522
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 迷光を除去して正確に反射光を測定することができる顕微測光装置における反射光測定方法を提供する。【構成】 (1)被測定試料4を載置した試料台13を、反射対物レンズ2の合焦位置に移動する。この状態で、第1反射光を測定する。(2)被測定試料4を載置した試料台13を、反射対物レンズ2の非合焦位置に移動する。この状態で、迷光である第2反射光を測定する。以上の測定値から被測定試料4の実反射光は、第1反射光から第2反射光を差し引くことによって求めることができる。
請求項（抜粋）：
対物レンズを介して被測定試料に光を照射し、前記被測定試料が対物レンズの合焦位置に置かれているときの反射光を対物レンズを介して取り込んで測定するとともに、前記対物レンズを含む顕微光学系から生じる迷光を測定し、前記測定反射光と前記迷光との差を被測定試料の実反射光とする顕微測光装置における反射光測定方法であって、前記迷光は、前記対物レンズの非合焦位置に前記被測定試料が位置しているときに測定されることを特徴とする顕微測光装置における反射光測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 9/04
, G02B 21/00
