特許

J-GLOBAL ID：200903040849744205

固体レーザ加工装置

発明者： 村田 真吾
出願人/特許権者： ミヤチテクノス株式会社
代理人 (1件)： 中尾 俊輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329044
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186319
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 QスイッチのON、OFF制御を正確に行なうことができ、高周波電気信号の振幅のしきい値付近におけるレーザ光のピークを適正に制御することのできる固体レーザ加工装置を提供する。【構成】 レーザ光を選択的に出力させるQスイッチに所定の波形に形成された高周波電気信号を供給するQスイッチドライバを設け、このQスイッチドライバに、前半にスロープが形成されたパルス波形を出力する変調信号発振器を設けるとともに、この変調信号発振器からのパルス波形に基づいて高周波をスロープが形成された波形の高周波電気信号に変調して前記Qスイッチに供給させる変調器を設けたことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

光を受けることにより内部に励起エネルギを蓄積するYAGロッドと、このYAGロッドに励起用の光を照射する励起ランプとを有し、前記YAGロッドのレーザ光の出射側近傍に、高周波電気信号によりON、OFF動作されて前記レーザ光を選択的に出力させるQスイッチを配置し、このQスイッチに制御部からの制御信号に基づいて所定の波形に形成された高周波電気信号を前記Qスイッチに供給するQスイッチドライバを接続し、このQスイッチを通過する光の進行方向に前記レーザ光の一部を通過させる出力ミラーを配設するとともに、前記YAGロッドのレーザ光の出射方向と反対側に光を全反射させる全反射ミラーを配設し、前記出力ミラーを通過するレーザ光をスキャナ部により被加工材の表面に走査させて所望の加工を行なう固体レーザ加工装置において、前記Qスイッチドライバに、前半にスロープが形成されたパルス波形を出力する変調信号発振器を設けるとともに、この変調信号発振器からのパルス波形に基づいて高周波をスロープが形成された波形の高周波電気信号に変調して前記Qスイッチに供給させる変調器を設けたことを特徴とする固体レーザ加工装置。

IPC (3件)：

H01S 3/115 ,  B23K 26/00 ,  H01S 3/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-290090
  
• 特開昭52-087391
  
• 特開平1-093188