特許

J-GLOBAL ID：200903040856933960

MEMS共振器、その製造方法、およびMEMS発振器

発明者： ヨゼフ ティー エム ファン ベーク ,  ハンス-ペテル ロイブル ,  フレデリック ダブリュー エム ヴァンヘルモント
出願人/特許権者： エヌエックスピー ビー ヴィ
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  澤田 達也 ,  播磨 里江子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-546790
公開番号（公開出願番号）：特表2009-521176
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

本発明は、可動素子(48)を有するMEMS共振器に関し、可動素子(48)は、第1ヤング率および第1ヤング率の第1温度係数を持つ第1部分(A)を有し、さらに可動素子(48)は、第2ヤング率および第2ヤング率の第2温度係数を持つ第2部分(B)を有し、少なくともMEMS共振器の動作条件下では、第2温度係数の符号は第1温度係数の符号と反対であり、第1部分(A)の断面積および第2部分(B)の断面積は、第1部分(A)のヤング率の絶対温度係数に第1部分(A)の断面積をかけた値が、第2部分(B)のヤング率の絶対温度係数に第2部分(B)の断面積をかけた値から、20%以上逸脱することなく、これら断面積は局部的におよび可動素子(48)に対して直交する断面で測定したものとする。

請求項（抜粋）：

可動素子を有するMEMS共振器であって、可動素子は第1ヤング率および第1ヤング率の第1温度係数を持つ第1部分を有し、さらに前記可動素子は第2ヤング率および第2ヤング率の第2温度係数を持つ第2部分を有し、少なくともMEMS共振器の動作条件下では、第2温度係数の符号が第1温度係数の符号と反対であり、第1部分の断面積および第2部分の断面積は、第1部分のヤング率の絶対温度係数に第1部分の断面積をかけた値が、第2部分のヤング率の絶対温度係数に第2部分の断面積をかけた値から、20%以上逸脱することなく、これら断面積は局部的におよび可動素子に対して直交する断面で測定するものとした、ことを特徴とするMEMS共振器。

IPC (5件)：

H03H 9/24 ,  H03H 3/007 ,  H03B 5/30 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00

FI (5件)：

H03H9/24 Z ,  H03H3/007 Z ,  H03B5/30 Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

Fターム (25件)：

3C081AA04 ,  3C081BA42 ,  3C081BA48 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA26 ,  3C081DA30 ,  3C081EA22 ,  5J079AA01 ,  5J079BA02 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079HA04 ,  5J079HA22 ,  5J079JA01 ,  5J108AA04 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE06 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許出願公開2005/0162239号明細書