特許

J-GLOBAL ID：200903040861329159

複屈折測定装置

発明者： 永田 紳一 ,  酒井 清和 ,  富田 藏 ,  今川 恭次
出願人/特許権者： 新王子製紙株式会社
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053024
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241987
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 1台の測定装置で、高い次数のレターデーションを正しく測定できる機能の他に、位相差の値に拘らず高分解能で測定できる機能と、3軸方向の屈折率を測定できる機能の少なくとも一方を実行できるようにする。【構成】 光源2からの測定光が集光レンズ6から受光素子24に至る光路には、集光レンズ6側から順にフィルタ8、偏光子としての偏光板8、位相板36、試料22、検光子としての偏光板18が配置されている。フィルタ8は5個のうちから1つが選択される。偏光板14と18は平行ニコルの関係に配置され一体的に回転する。位相板36はバビネソレイユの補償板であり、測定光路に出入り自在に設置され、そのレターデーションが調整される。試料22はその面内で回転できるようにするとともに、試料22の表面に沿う一直線を中心として試料を傾けることができるようにするために、試料保持装置に保持されている。

請求項（抜粋）：

測定光路に測定光を供給する光源部と、測定光の波長を選択するフィルタ部と、測定光路上に配置され、偏光方向を一定の関係に保った2枚の偏光板を備え、その間に配置された試料に対して相対的に回転する偏光・検光部と、光源側の偏光板と試料との間の測定光路上に配置されるレターデーション可変の位相板と、前記位相板を測定光路上の位置と測定光路から外れた位置との間で移動させる移動機構と、前記位相板の光学主軸の方向を試料の光学主軸の方向と一致させるように、前記位相板を測定光路を中心として回転させる回転機構と、前記偏光・検光部、前記位相板及び試料を透過した測定光を検出する光検出部と、前記フィルタ部での波長選択、前記偏光・検光部の回転、前記位相板のレターデーション変化、前記移動機構及び前記回転機構の動作を制御するとともに、前記光検出部の出力信号を取り込んで試料のレターデーションを算出するデータ処理・制御部と、を備えた複屈折測定装置。