特許

J-GLOBAL ID：200903040866725109

蒸着用フィラメント

発明者： 黒崎 礼郎
出願人/特許権者： 三菱樹脂株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-299835
公開番号（公開出願番号）：特開平10-110260
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 フィラメント上の温度分布から定められる蒸着源の最適装着部位に、蒸着源を装着しやすく、さらに機械振動などによる蒸着源のフィラメント上での位置ずれがなく、これに起因する蒸着トラブルが防止できる手段の提供。【解決手段】 抵抗加熱型蒸着機に用いられるフィラメントであって、加熱中の温度が最も高くなる部位と電極よりの給電点との間に、蒸着源装着部位を設けたことを特徴とする蒸着用フィラメント。

請求項（抜粋）：

抵抗加熱型蒸着機に用いられるフィラメントであって、加熱中の温度が最も高くなる部位と電極よりの給電点との間に、蒸着源装着部位を設けたことを特徴とする蒸着用フィラメント。