特許
J-GLOBAL ID:200903040867623962
インゴット切断方法およびワイヤソー装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
村上 友一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-323905
公開番号(公開出願番号):特開2000-141364
出願日: 1998年11月13日
公開日(公表日): 2000年05月23日
要約:
【要約】【課題】 インゴットをワイヤソー装置で切断する場合に平行度の高い切断作業を極めて簡易な方法で実現させる。【解決手段】 切断対象のインゴット10を取り付ける昇降ヘッド24を複数配列し、この昇降ヘッド24をワイヤソーの切断経路に対し前記インゴット10を横断させる駆動手段を設け、前記複数の昇降ヘッド24を時間差を付して駆動制御させ前記ワイヤソーによるインゴットの総合切断幅を近似的に一定となるように連続してインゴットをソー横断駆動させる。
請求項(抜粋):
ワイヤソーによる切断経路に複数のインゴットを時間差を付して横断させることにより、総合切断幅を近似的に一定に保って連続切断させることを特徴とするインゴット切断方法。
IPC (2件):
B28D 5/04
, H01L 21/304 611
FI (2件):
B28D 5/04 C
, H01L 21/304 611 W
Fターム (11件):
3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BB01
, 3C069BB03
, 3C069BC02
, 3C069CA04
, 3C069CB02
, 3C069CB04
, 3C069DA06
, 3C069EA02
, 3C069EA04
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