特許

J-GLOBAL ID：200903040869257645

蒸気乾燥装置および蒸気乾燥装置の運転方法

発明者： 三田 雅昭 ,  須藤 誠司 ,  工藤 守義
出願人/特許権者： 三菱化成エンジニアリング株式会社 ,  三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293293
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152267
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】 薬液のミスト発生を抑制でき、ひいては被処理物の欠陥発生や薬液蒸気の金属イオンの同伴を減少させる。【構成】 下部に貯留された2-プロパノールなどの薬液を気化させるための熱源、上部に薬液蒸気を凝縮させるための薬液蒸気凝縮器、及び薬液面と薬液蒸気凝縮器との間に設けられた被処理物保持空間を少なくとも有する蒸気乾燥装置において、薬液中に窒素などの不活性ガスを吹き込む手段を設けた蒸気乾燥装置、及び、上記の蒸気乾燥装置の薬液中に、伝熱面1m2あたり0.05〜0.3Nm3/hrの不活性ガスを吹き込む蒸気乾燥装置の運転方法。

請求項（抜粋）：

下部に貯留される薬液を気化させるための熱源、上部に薬液蒸気を凝縮させるための薬液蒸気凝縮器、及び薬液面と薬液蒸気凝縮器との間に設けられた被処理物保持空間を少なくとも有する蒸気乾燥装置において、薬液中に不活性ガスを吹き込む手段を設けたことを特徴とする蒸気乾燥装置。

IPC (4件)：

F26B 19/00 ,  B08B 3/08 ,  F26B 21/14 ,  H01L 21/304 361