振動ジャイロセンサ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-089961
公開番号（公開出願番号）：特開2001-280971
出願日： 2000年03月28日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】外乱による影響を受け難くして、角速度の検出を高精度に行えるようにし、かつ、生産性を向上させる。【解決手段】薄肉の円筒状に形成された支持部12と、該支持部12の内側に配され、環状の内側振動板14によって振動可能とされた円柱状の内側重り16と、支持部12の外側に配され、環状の外側振動板18によって振動可能とされた肉厚の円筒状を有する外側重り20とが一体的に形成された基体22と、該基体22上に形成された圧電/電歪素子部24とを有して構成される。支持部12は、その先端が内側重り16や外側重り20よりも下方に突出するように形成され、該支持部12を例えば基台26等に固定することで、内側重り16や外側重り20は浮いた状態に保持される。

請求項（抜粋）：

支持部と、前記支持部の内側に配され、内側振動板によって振動可能とされた内側重りと、前記支持部の外側に配され、外側振動板によって振動可能とされた外側重りと、前記内側振動板及び/又は外側振動板上に形成された圧電/電歪素子とを有することを特徴とする振動ジャイロセンサ。

IPC (6件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/09 , H01L 41/08 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (7件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 J , H01L 41/08 Z , H01L 41/08 U , H01L 41/18 101 Z , H01L 41/22 Z

Fターム (8件)：

2F105AA08 , 2F105AA10 , 2F105BB03 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (1件)

振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-112380 出願人：株式会社村田製作所

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